考夫曼射离子源RFICP380辅助溅射沉积制备锂硫电池正极片商易网触屏版

考夫曼射离子源RFICP380辅助溅射沉积制备锂硫电池正极片

2021-06-17 11:16 浏览:34

某锂硫电池制造商采用伯东KRI 考夫曼射频离子源 RFICP380 辅助溅射沉积制备锂硫电池正极片.

伯东 KRI 射频离子源 RFICP380 技术参数:

portant;"> 射频离子源型号	portant;"> RFICP380
portant;"> Discharge 阳极	portant;"> 射频 RFICP
portant;"> 离子束流	portant;"> >1500 mA
portant;"> 离子动能	portant;"> 100-1200 V
portant;"> 栅极直径	portant;"> 30 cm Φ
portant;"> 离子束	portant;"> 聚焦, 平行, 散射
portant;"> 流量	portant;"> 15-50 sccm
portant;"> 通气	portant;"> Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他
portant;"> 典型压力	portant;"> < 0.5m Torr
portant;"> 长度	portant;"> 39 cm
portant;"> 直径	portant;"> 59 cm
portant;"> 中和器	portant;"> LFN 2000

工艺流程:

该正极片的制备在离子束溅射室内进行, 将铝箔作为基片, 将定量的块体硫和块体碳作为靶材.

在开始工艺前, 需要将离子束溅射室抽真空后, 然后利用KRI 射频离子源 RFICP380 将通入的氩气离化为氩离子, 氩离子束以不同的功率交替轰击块体硫和块体碳, 将硫原子和碳原子分别溅射出来, 沉积到铝箔表面, 即获得带有硫碳复合材料的锂硫电池正极片.

KRI 射频离子源 RFICP380 特性:

1. 大面积射频离子源

2. 提供高密度离子束, 满足高工艺需求

3. 采用射频技术产生离子, 无需电离灯丝, 工艺时间更长, 更适合时间长的工艺要求

4. 离子束流: >1500 mA

5. 离子动能: 100-1200 V

6. 中和器: LFN 2000

7. 采用自动控制器, 一键自动匹配

8. RF Generator 可根据工艺自行选择离子浓度, EX: 1kW or 2kW

9. 离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装

10. 栅极材质钼和石墨, 坚固耐用

11. 通入气体可选 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others

为了给离子束溅射室提供 10-4 Pa真空度, 该制造商采用伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵 Hipace 700抽真空. 其技术参数如下:

portant;"> 2707-Operating voltage: V DC	portant;"> 48 (± 5 %) V DC
portant;"> Ar 的压缩比	portant;"> > 1 · 1011
portant;"> Ar 的抽速	portant;"> 665 l/s
portant;"> Ar 的最终转速时的气体流量	portant;"> 3.5 hPa l/s \| 2.62 Torr l/s \| 3.5 mbar l/s
portant;"> H2 的压缩比	portant;"> 4 · 105
portant;"> H2 的抽速	portant;"> 555 l/s
portant;"> H2 的最终转速时的气体流量	portant;"> > 14 hPa l/s \| > 10.5 Torr l/s \| > 14 mbar l/s
portant;"> He 的压缩比	portant;"> 3 · 107
portant;"> He 的抽速	portant;"> 655 l/s
portant;"> He 的最终转速时的气体流量	portant;"> 10 hPa l/s \| 7.5 Torr l/s \| 10 mbar l/s
portant;"> I/O 接口	portant;"> RS-485, 远程, Profibus
portant;"> N2 的压缩比	portant;"> > 1 · 1011
portant;"> N2 的抽速	portant;"> 685 l/s
portant;"> N2 的最大预真空	portant;"> 11 百帕
portant;"> N2 的最终转速时的气体流量	portant;"> 6.5 hPa l/s \| 4.88 Torr l/s \| 6.5 mbar l/s
portant;"> 不带气镇的最终压力	portant;"> 1 · 10-7 百帕
portant;"> 允许冷却水的温度	portant;"> 15 – 35 °C 摄氏度
portant;"> 冷却水消耗最小值	portant;"> 100 l/h
portant;"> 冷却水耗量	portant;"> 100 l/h
portant;"> 冷却类型, 可选项	portant;"> 空气
portant;"> 冷却类型, 标准	portant;"> 水
portant;"> 声压水平	portant;"> ≤50 dB(A) 分贝 (A)
portant;"> 安装方向	portant;"> 任何
portant;"> 排气连接	portant;"> G 1/8"
portant;"> 接口, 扩展	portant;"> Profibus
portant;"> 方位	portant;"> 混合动力
portant;"> 最大允许磁场	portant;"> 6 mT
portant;"> 根据 PNEUROP 的最终压力	portant;"> < 1 · 10-7 百帕
portant;"> 电子驱动单元	portant;"> 带有 TC 400
portant;"> 电流最大值	portant;"> 8,75 A
portant;"> 耗电量 max.	portant;"> 420 瓦
portant;"> 转速 Â± 2 %	portant;"> 49,200 rpm \| 49,200 min-1
portant;"> 转速可变化	portant;"> 60 – 100 %
portant;"> 运行时间	portant;"> 2 分
portant;"> 连接法兰（入口）	portant;"> DN 160 ISO-F
portant;"> 连接法兰（出口）	portant;"> DN 25 ISO-KF/G ¼"
portant;"> 重量	portant;"> 12.1 千克
portant;"> 防护等级	portant;"> IP54

运行结果:

能够精确控制溅射量, 获得混合均匀的硫碳复合材料.

伯东是德国 Pfeiffer 真空泵, 检漏仪, 质谱仪, 真空计, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国HVA 真空阀门, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商.

若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:

上海伯东: 罗先生                               台湾伯东: 王女士
T: +86-21-5046-1322                 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                   M: +886-939-653-958
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