高性能一体机 ——1000mm/s扫描速度，8m/s2扫描加速度。典型应用场景的扫描效率达到35秒/件，为S100机型的X倍。为大批量中小尺寸工件的快速全检，提供了高性能的解决方案。采用整体焊接框架、主动平衡减振机构，有效降低高加速度引起的机体晃动，提高成像质量。

主要配置：

1、龙门式高速直线电机扫描运动台；

2、主动平衡减震系统；

3、整体焊接框架，提高稳定性；

4、全封闭防护；

5、万能夹具、一键校准、远程协助；

6、自动上下水及水循环净化系统。

应用领域

精密器件 ——半导体、集成电路和金刚石等行业高速全检，适用于理化试验室或车间现场。

产品参数

1、工作电源：220V/50Hz，3KW；

2、最大扫描范围： 500mm×330mm×100mm；图像推荐分辨率：0.5um ~ 4000um；

3、整机尺寸：1250mm×850mm×1300mm；（标配）

4、探头频率范围：1~50MHz；（标配，可升级至230MHz）；

5、图像推荐分辨率：0.5um ~ 4000um；

6、典型扫描耗时：≤35s （测试条件：扫描区域10mmX10mm，分辨率50um)；

7、最大扫描速度：1000mm/s；最大扫描加速度：8m/s2；

8、运动台精度：X/Y向<±0.5um，Z向<±10um；重复精度：X/Y向<±0.01mm，Z向<±0.02mm。

9、采样频率：25~250MHz；（标配，可升级至1.5GHz）；

10、每通道可调增益：-13~66dB;（标配，可升级）；脉冲重复频率：5kHz；（标配，可升级）。