分子泵的原理

分子泵 (Molecular pump)是一种用于实现和维持高真空和超高真空环境的设备。它的工作原理基于气体分子的动量传递，通过机械手段将气体分子从真空系统中排出。

工作原理

分子泵的工作过程可以概括为以下几个步骤

1.旋转叶片:

分子泵内部有高速旋转的叶片(或称转子)，通常以每分钟数万转的速度旋转。

叶片与定子之间形成非常小的间隙。

2.气体分子的动量传递:

气体分子在碰撞到高速旋转的叶片时，会被赋予动量。

这种动量使得气体分子沿叶片的旋转方向被加速，逐步向泵的排气口移动。3.多级结构:

分子泵通常具有多级叶片结构，通过多次碰撞和动量传递，使气体分子逐级排出

每一级都进一步降低系统的压力，达到所需的真空度。

分子泵的优势

分子泵在高真空和超高真空应用中具有许多显著的优势:

1.高真空度:

分子泵能够实现和维持非常高的真空度，通常可达到 10-9 Torr 甚至更低

适用于超高真空应用，如电子显微镜、表面科学研究等。

2.无油污染:

分子泵为干式泵，不使用油进行润滑或密封，因此避免了油污染。

特别适用于需要超高洁净度的真空环境。

3.高效:

由于其高转速和多级结构，分子泵能够在较短时间内达到目标真空度，适合需要快速抽真空的应用，如半导体制造和实验室设备。

4.耐用性:

分子泵结构坚固，耐用性高，能够长时间连续运行。

维护成本较低，因为没有油的污染和相关的维护问题。

5.竞压力范围:

分子泵能够在宽范围的压力下工作，从大气压一直到超高真空。

能够与其他类型的真空泵(如粗真空泵)联用，实现更广泛的应用。

应用

分子泵被广泛应用于各种需要高真空和超高真空的领域，包括但不限于

半导体制造:用于光刻、沉积和蚀刻等工艺中。

真空镀膜:用于制造光学薄膜和装饰涂层。

电子显微镜:提供必要的超高真空环境以确保高分辨率

加速器和粒子物理实验:维持实验室中的高真空条件。

航空航天:用于模拟空间环境和测试卫星部件。

总之，分子泵以其高效、无油污染和高真空度等优势，成为现代真空技术中的重要设备。

移动式分子泵真空机组KT-150YCF技术参数：