等离子刻蚀机:
*对金属、玻璃、硅片、陶瓷、塑料、聚合物表面的有机污染物 (如石蜡、油污、脱膜剂、蛋白等)进行超AA清洗。
*改变某些材料表面的性能。
*使玻璃、塑料、陶瓷等材料表面活化,加强这些材料的粘附性、相容性和浸润性。
*清除金属材料表面的氧化层。
*对被清洗物进行消毒、杀菌。
优点:
具有性能稳定,性价比高,操作简便,使用成本低,易于维护的特点。对各种几何形状,表面粗糙程度各异的金属,陶瓷,玻璃,硅片,塑料等物件表面进行超清洗和改性,完全彻底地清除样品表面的有机染物。
等离子刻蚀机 技术参数
供电电源 |
AC220V(AC110V可选) |
工作电流 |
整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵) |
射频电源功率 |
150W |
射频频率 |
13.56MHz |
频率偏移量 |
<0.2MHz |
特性阻抗 |
50欧姆,手动匹配 |
耦合方式 |
电容耦合 |
真空度 |
≤50Pa |
腔体材质 |
高纯石英 |
腔体容积 |
Φ100mmX200mm |
旋转速度 |
20转/分钟 |
气体流量 |
0—300ml/min |
过程控制 |
手动控制 |
清洗时间 |
手0-999秒 |
外形尺寸 |
615X390x560mm |
重量 |
56Kg |
真空室温度 |
小于65°C |
冷却方式 |
强制风冷 |
标配 |
KF16真空管1米,kf16卡箍2个,不锈钢网匣1个,电源线一根,说明书一本。
|