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日立扫描电镜FlexSEM1000II,精准成像,高清晰
更新时间:2025-09-05 10:59 免费会员
深圳市谱赛斯科技有限公司
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简单来说,日立扫描电镜是一种利用高能电子束来扫描样品表面,从而获得极高分辨率微观形貌信息的精密分析仪器。 它被誉为科学家和工程师观察微观世界的“眼睛”,其核心功能远超普通光学显微镜。

以下是它的主要用途和功能,分为几个层面来说明:

一、核心功能:超高倍率成像

这是SEM最基本和最重要的功能。它可以轻松地将样品放大几百倍到几十万倍,观察到肉眼和光学显微镜无法分辨的细微结构。

· 应用举例:
  · 观察集成电路(芯片)上的纳米级线路和晶体管结构。
  · 查看金属材料的晶粒形态、裂纹和断口形貌。
  · 观察细菌、病毒、花粉、细胞等生物样品的表面超微结构。
  · 分析纤维、涂层、粉末、催化剂等材料的表面形态和分布。

二、不仅仅是形貌:提供多种信息

现代扫描电镜(尤其是日立的高端型号)通常集成了多种探测器,不仅能看形貌,还能提供丰富的其他信息:

1. 微观形貌观察(最常用)
   · 如何实现: 通过探测电子束与样品表面相互作用产生的二次电子。
   · 特点: 图像具有强烈的立体感和出色的景深,能清晰呈现样品表面的凹凸、裂纹、颗粒等三维形貌。
2. 成分分析(非常重要)
   · 如何实现: 通过探测电子束激发的特征X射线(这种附件称为能谱仪,EDS或EDX)。这是日立电镜非常常见的配置。
   · 功能:
     · 元素鉴定: 分析样品上某个微小点(可达微米甚至纳米级)含有哪些化学元素。
     · 元素分布面扫描: 生成元素的分布图,直观显示不同元素在样品哪个区域富集、哪个区域稀少。
     · 半定量分析: 大致确定各元素的含量百分比。
   · 应用举例:
     · 分析金属夹杂物的成分。
     · 检查焊点表面的污染元素。
     · 鉴别矿物相的种类。
3. 晶体结构信息
   · 如何实现: 通过探测背散射电子。
   · 功能:
     · 成分衬度像: 平均原子序数越大的区域越亮,可用于快速区分不同成分的区域(如区分铝和铝中的铁杂质)。
     · 取向衬度像: 显示样品中不同晶粒的晶体学取向。

三、主要应用的行业和领域

基于以上强大功能,日立扫描电镜被广泛应用于:

· 材料科学: 研究金属、陶瓷、高分子、复合材料等的微观结构、断裂机理、相组成等。
· 半导体与电子工业: 芯片设计、制造、失效分析、工艺监控、线宽测量等,是必不可少的工具。
· 生命科学: 观察生物组织、细胞、微生物的超微结构,常用于医学和生物学研究。
· 地质学和矿物学: 分析矿物的形态、结构和成分,进行岩矿鉴定。
· 纳米技术: 表征纳米材料(如纳米管、纳米颗粒)的形貌和尺寸。

· 工业生产与失效分析: 对产品质量进行监控,分析产品(如金属零件、涂层)为何会断裂、腐蚀或失效。

四、产品特点

FexSEM10001,凭借全新设计的电子光学系统和高灵敏度检测器,可在加速电压 20KV下实现 4.0nmn 的分辨率。全新开发的用户界面,具有亮度和对焦自动调节功能,可以在短时间内进行各种观察。此外,还搭载了全新的导航功能"SEM MAP”,该功能可弥补电子显微镜上难以找准视野的缺点,实现最直观的视野移动。
       1、小型高性能的电子光学镜筒
尽管是可放置在桌面上的小巧紧凑型”电子显微镜,却具备同类产品中最高的分辨率,仍可实现 4.0nm 的分辨率。

*1:设置到桌面上时,请将机体与电源盒分离
        2、高成像质量
·配备可优化的发射束流功能,以便在较低的加速电压下也能获得足够的亮度,而获得噪点小且清晰的图像。
·凭借独特的高灵敏度二次电子检测器、背散射电子检测器、低真空检测器(VD”),可在低加速电压!低真空下观察时实现高质量图像。

3、实用的高画质和快速观察能力

·全新的用户界面,无论用户的熟练程度如何,都可实现高画质和高处理能力。
·搭载 GUL和自动调节功能,让初学者也能得心应手。只要按一下自动对焦(AFC)、自动亮度调节(ABCC)按钮,就可以获得最佳的图像。(自动调节;与以往相比,缩短时间约13 秒”)
当然,也可以通过触屏进行操作。

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