志圣全智能公司SZ-QMO晶圆无尘真空氮气烘烤箱

志圣全智能公司生产的晶圆无尘真空氮气烘烤箱，是专为半导体、集成电路及MEMS等高端制造领域设计的先进热处理设备。其核心应用特点在于创新性地融合了无尘、真空与氮气氛围三大关键技术。设备内部通过高效粒子空气过滤器营造稳定的百级乃至更高标准的无尘环境，彻底隔绝外界颗粒污染，保障晶圆在热处理过程中的极致洁净。同时，其高密封性的真空系统能在工艺初始快速移除腔体内的氧气与水汽，有效防止加热时晶圆表面的氧化现象。在此基础之上，设备通入高纯度氮气作为工艺氛围，不仅为热传导提供了均匀稳定的介质，更能进一步抑制氧化，确保晶圆材料特性的完整性与电学性能的稳定。这一系列技术的协同作用，使得该烘烤箱在去除光刻胶残留、激活离子注入、进行低温合金化及晶圆键合前的表面处理等关键工艺中表现出色。其应用范围广泛覆盖了从逻辑芯片、存储芯片制造到功率器件、先进封装乃至第三代半导体材料（如SiC、GaN）的烧结固化等多个核心环节。凭借精准的温控、卓越的稳定性和强大的工艺适配性，该设备已成为提升产品良率、保障芯片可靠性的不可或缺的工艺装备。