在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染分子，使其电离、接离和激发，然后便引发一系列的物理、化学反应，使其复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害物或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。