离子蚀刻机20IBE-C 用于蚀刻 FSD 车载 AI 芯片

离子蚀刻机20IBE-C 用于蚀刻 FSD 车载 AI 芯片

2021-01-26 15:21 浏览:11

某 AI 芯片公司研发部采用伯东 20IBE-C 用于蚀刻 FSD 车载 AI 芯片, 去除制造过程中产生的污染物, 提高 AI 芯片的表面均匀度.

Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-C 技术参数如下:

portant;"> Ф4 inch X 6片	portant;"> 基板尺寸	portant;"> < Ф3 inch X 8片 < Ф4 inch X 6片 < Ф8 inch X 1片
	portant;"> 样品台	portant;"> 样品台可选直接冷却 / 间接冷却, 0-90度旋转
	portant;"> 离子源	portant;"> 20cm 考夫曼离子源
	portant;"> 均匀性	portant;"> ±5% for 8”Ф
	portant;"> 硅片蚀刻率	portant;"> 20 nm/min
	portant;"> 温度	portant;"> <100

Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-C 产品图如上图, 其主要构件包括 Pfeiffer 分子泵, KRI 考夫曼离子源, 触摸屏控制面板, 真空腔体, 样品台. 如下图：

Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-C 的核心构件离子源采用的是伯东公司代理美国考夫曼博士创立的 KRI考夫曼公司的射频离子源 RFICP220.

伯东 KRI 射频离子源 RFICP 220 技术参数:

portant;"> 离子源型号	portant;"> RFICP 220
portant;"> Discharge	portant;"> RFICP 射频
portant;"> 离子束流	portant;"> >800 mA
portant;"> 离子动能	portant;"> 100-1200 V
portant;"> 栅极直径	portant;"> 20 cm Φ
portant;"> 离子束	portant;"> 聚焦
portant;"> 流量	portant;"> 10-40 sccm
portant;"> 通气	portant;"> Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他
portant;"> 典型压力	portant;"> < 0.5m Torr
portant;"> 长度	portant;"> 30 cm
portant;"> 直径	portant;"> 41 cm
portant;"> 中和器	portant;"> LFN 2000

* 可选: 灯丝中和器; 可变长度的增量

Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-C 的样品台可以 0-90 度旋转, 实现晶圆反应面均匀地接受离子的轰击, 进而实现提高晶圆的加工质量.

Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-C 配套的是伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵 Hipace 700.

伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵 Hipace 700 技术参数:

portant;"> 2707-Operating voltage: V DC	portant;"> 48 (± 5 %) V DC
portant;"> Ar 的压缩比	portant;"> > 1 · 1011
portant;"> Ar 的抽速	portant;"> 665 l/s
portant;"> Ar 的最终转速时的气体流量	portant;"> 3.5 hPa l/s \| 2.62 Torr l/s \| 3.5 mbar l/s
portant;"> H2 的压缩比	portant;"> 4 · 105
portant;"> H2 的抽速	portant;"> 555 l/s
portant;"> H2 的最终转速时的气体流量	portant;"> > 14 hPa l/s \| > 10.5 Torr l/s \| > 14 mbar l/s
portant;"> He 的压缩比	portant;"> 3 · 107
portant;"> He 的抽速	portant;"> 655 l/s
portant;"> He 的最终转速时的气体流量	portant;"> 10 hPa l/s \| 7.5 Torr l/s \| 10 mbar l/s
portant;"> I/O 接口	portant;"> RS-485, 远程, Profibus
portant;"> N2 的压缩比	portant;"> > 1 · 1011
portant;"> N2 的抽速	portant;"> 685 l/s
portant;"> N2 的最大预真空	portant;"> 11 百帕
portant;"> N2 的最终转速时的气体流量	portant;"> 6.5 hPa l/s \| 4.88 Torr l/s \| 6.5 mbar l/s
portant;"> 不带气镇的最终压力	portant;"> 1 · 10-7 百帕
portant;"> 允许冷却水的温度	portant;"> 15 – 35 °C 摄氏度
portant;"> 冷却水消耗最小值	portant;"> 100 l/h
portant;"> 冷却水耗量	portant;"> 100 l/h
portant;"> 冷却类型，可选项	portant;"> 空气
portant;"> 冷却类型，标准	portant;"> 水
portant;"> 声压水平	portant;"> ≤50 dB(A) 分贝 (A)
portant;"> 安装方向	portant;"> 任何
portant;"> 排气连接	portant;"> G 1/8"
portant;"> 接口，扩展	portant;"> Profibus
portant;"> 方位	portant;"> 混合动力
portant;"> 最大允许磁场	portant;"> 6 mT
portant;"> 根据 PNEUROP 的最终压力	portant;"> < 1 · 10-7 百帕
portant;"> 电子驱动单元	portant;"> 带有 TC 400
portant;"> 电流最大值	portant;"> 8,75 A
portant;"> 耗电量 max.	portant;"> 420 瓦
portant;"> 转速 Â± 2 %	portant;"> 49,200 rpm \| 49,200 min-1
portant;"> 转速可变化	portant;"> 60 – 100 %
portant;"> 运行时间	portant;"> 2 分
portant;"> 连接法兰（入口）	portant;"> DN 160 ISO-F
portant;"> 连接法兰（出口）	portant;"> DN 25 ISO-KF/G ¼"
portant;"> 重量	portant;"> 12.1 千克
portant;"> 防护等级	portant;"> IP54

若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :

上海伯东 : 罗先生                               台湾伯东 : 王
T: +86-21-5046-1322                 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                   M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
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