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上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 霍尔离子源 eH 系列属于宽束型离子源, 散射角度>45°.
霍尔离子源气体流量可选 2-25sccm/ 2-50sccm/ 2-50sccm/ 2-75sccm/ 5-100sccm 等不同级别.
霍尔离子源电流可选 5A/ 10A/ 12A/ 15A/ 20A 等.
霍尔离子源高浓度提高镀膜沉积速率, 低动能减少离子轰击损伤表面, 宽束设计有效提高吞吐量和覆盖沉积区.
整体易操作, 易维护. 霍尔离子源 eH 提供一套完整的方案包含离子源, 电子中和器, 电源供应器, 流量控制器 MFC 等等.
美国 KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列 产品特性：
KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列产品特性:
1.无栅极
2.高电流低能量
3.发散光束 >45°
4.可快速更换阳极模块
5.可选 Cathode / Neutralize 中和器
美国 KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列 技术参数：
KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列在售型号及技术参数:
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离子源型号
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霍尔离子源 eH200(停产) |
霍尔离子源
eH400 |
霍尔离子源
eH1000 |
霍尔离子源 eH1000xO2 |
霍尔离子源
eH2000 |
霍尔离子源
eH3000 |
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Cathode/Neutralizer |
F or HC |
F or HC |
F or HC |
F or HC |
F or HC |
HC |
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电压 |
30-300V |
50-300V |
50-300V |
100-300V |
50-300V |
50-250V |
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电流 |
2A |
5A |
10A |
10A |
10A |
20A |
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散射角度 |
>45 |
>45 |
>45 |
>45 |
>45 |
>45 |
| 可充其他 | Ar, O2, N2, H2, organic precursors, others | |||||
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气体流量 |
1-15sccm |
2-25sccm |
2-50sccm |
2-50sccm |
2-75sccm |
5-100sccm |
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高度 |
2.0“ |
3.0“ |
4.0“ |
4.0“ |
4.0“ |
6.0“ |
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直径 |
2.5“ |
3.7“ |
5.7“ |
5.7“ |
5.7“ |
9.7“ |
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水冷 |
无 |
可选 |
可选 |
可选 |
是 |
可选 |
F = Filament; HC = Hollow Cathode; xO2 = Optimized for O2 current
美国 KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列 基本组成：
KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列基本组成
1. 灯丝
2. 阳极模组
3. 主要模组
4. 底座（可调整角度, 高度）
