产品描述

上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 考夫曼离子源 KDC 75, 紧凑栅极离子源, 离子束可选聚焦/ 平行/ 散射.

离子束流: >250 mA; 离子动能: 100-1200 V; 中和器: 灯丝.

加热灯丝产生电子, 增强设计输出高质量, 稳定的电子流.

考夫曼离子源 KDC 75 包含2个阴极灯丝, 其中一个作为备用.

离子束直径 14 cm ,可安装在 8“CF法兰.

离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装.

美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 75 技术参数：

伯东美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 75技术参数：

离子源型号	离子源 KDC 75
Discharge	DC 热离子
离子束流	>250 mA
离子动能	100-1200 V
栅极直径	7.5 cm Φ
离子束	聚焦, 平行, 散射
流量	2-15 sccm
通气	Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他
典型压力	< 0.5m Torr
长度	20.1 cm
直径	14 cm
中和器	灯丝

* 可选: 一个阴极灯丝; 可调角度的支架

美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 75 应用领域：

伯东KRI 考夫曼离子源 KDC 75 应用领域：

1.溅镀和蒸发镀膜 PC

2.辅助镀膜(光学镀膜)IBAD

3.表面改性, 激活 SM

4.离子溅射沉积和多层结构 IBSD

5.离子蚀刻 IBE