产品描述

上海伯东德国 Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 拥有强大的抽空能力, 对氦气抽速最高可达 25 l/s. 极短的测试时间, 较短的响应时间 < 1 s.

检漏仪 ASM 390, ASM 392 最小检漏漏率: 

    真空模式: 1X10^-12 mbar l/s
    吸枪模式: 1X10^-8 mbar l/s

检漏仪 ASM 390, ASM 392 配有干式非接触式前级真空泵和涡轮分子泵, 其中检漏仪 ASM 392 内置 2 台涡轮分子泵, 可以加速泄漏检测流程, 降低生产设备的停机时间.

检漏仪 ASM 390, ASM 392 是针对大型检漏部件设计研发.

伯东 Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 产品优势：

移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 优势:

1. 强大的抽空能力
2. 极短的测试时间
3. 大型彩色触摸屏, 无需任何工具即可完全旋转和拆卸
4. 符合人体工学设计, 移动性强
5. 完全符合 Semi S2 标准

 

伯东 Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 技术参数：

伯东 Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 与 ASM 380 技术参数对比:

型号	ASM 390	ASM 392	ASM 380
检测气体	4He, 3He, H2
最小检测漏率	真空模式: 1X10-12 mbar l/s 吸枪模式: 1X10-8 mbar l/s
对氦气的抽速	10 l/s	25 l/s, 内置2台分子泵	7 l/s
前级泵抽速	35 m3/h
进气口最大压力	20 mbar	20 mbar	15 mbar
无校准的启动时间(20°C)	2 min	2 min	< 4.5 min
进气口	DN 40 ISO-KF
响应时间	< 1 s
Interface,  选配	RS-232, I/O, Ethernet
噪音	≤ 55 dB (A)	≤ 55 dB (A)	53 dB (A)
重量	125 kg	130 kg	110 kg
尺寸(LxWxH)	1072 x 455 x 1025 mm	1072 x 455 x 1025 mm	1065 X 455 X 1025 mm

伯东 Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 在售型号：

移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 目前在售型号:

 ASM 390, 通用电压

 ASM 390, 通用电压, 可连接的排气管 DN 25 ISO-KF

 ASM 390, 通用电压, 可连接的排气管 DN 40 ISO-KF

 ASM 390, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板

 ASM 390, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板, 可连接的排气管 DN 25 ISO-KF

 ASM 390, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板, 可连接的排气管 DN 40 ISO-KF

 ASM 390, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板,以太网

 ASM 390, 通用电压,可配置的 I/O 接口板,以太网, 可连接的排气管 DN 25 ISO-KF

 ASM 390, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板, 以太网, 可连接的排气管 DN 40 ISO-KF

 ASM 392, 通用电压

 ASM 392, 通用电压, 可连接的排气管 DN 25 ISO-KF

 ASM 392, 通用电压, 可连接的排气管 DN 40 ISO-KF

 ASM 392, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板

 ASM 392, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板, 可连接的排气管 DN 25 ISO-KF

 ASM 392, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板, 可连接的排气管 DN 40 ISO-KF

 ASM 392, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板, 以太网

 ASM 392, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板, 以太网, 可连接的排气管 DN 25 ISO-KF

 ASM 392, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板, 以太网, 可连接的排气管 DN 40 ISO-KF

伯东 Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 应用领域：

移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 应用领域:

可用于半导体和平板显示器行业以及其他要求极高的应用