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DUOH多弧离子镀膜机
更新时间:2016-07-25 16:57 免费会员
沈阳卓越真空设备有限公司
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ZY-1185设备采用全自动的控制方式,合理配备多套最新研制的阴极电弧,有效保障弧源溅射的稳定性与均匀性,采用先进的多路进气系统,精准控制气体流量,满足您多种化合物膜层需求。装载大功率脉冲偏压电源,极大提高电粒子能量,从而获得优秀的膜层结合力和光洁度。

 

技术参数:

炉体尺寸

Φ1100×H850

有效空间

Φ550×H500

应用技术

HCD+ARC

生产周期

3-5小时/

靶材数量

12PCS

工件转架结构

下转架结构

标准涂层

TINCRNALTIN

可选涂层

TIALCRNTISINDLC

控制系统及软件

PLC+触摸屏 组态软件

工业PC+ PLC+触摸屏 

自己开发的专用镀膜软件

硬件

分子泵、罗茨泵、旋片泵

弧电源、脉冲偏压电源

外围尺寸

L4200×W3200×H2200

功率

70KW

适用范围

注塑、五金、压铸等模具

各种零件及切削刀具等

产量/

铣刀Φ10×70  680

刀粒Φ18×6  5000

滚刀Φ80×80  48

模具 500KG

配套条件

循环水压力:2-3KG 水量 10T/H

压缩空气:4-6KG

工作气体

ArN2O2C2H2

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