东莞市品雅真空设备有限公司数值模拟结果及分析
1、进气噪声
输出两叶转子、三叶转子旋转一周(0.04027S)的进气速率图，两叶转子、三叶转子进气速率脉动曲线。不考虑泵开始运转的不稳定状态;泵正常运转后，进气速率脉动与转子的结构相一致。由于转子旋转过程中，进排气腔容积不断发生由大变小、再由小变大的周期变化，气体受到周期性扰动，引起速率波动。两叶转子旋转一周出现四个完整的脉动周期，三叶转子旋转一周出现六个完整的脉动周期，与理论预测结果相同。可以看出，两叶转子泵的最大进气瞬时速率为1400L/s，最小进气瞬时速率为100L/s，波动幅度较大。三叶转子泵的最大进气瞬时速率为1000L/s，最小进气瞬时速率为100L/s。两者相比之下，两叶转子的进气速率脉动比三叶的大的多。脉动越大，进气气动噪声越大。
2、相比之下，三叶转子的排气速率脉动比两叶转子的排气速率脉动要大。这是由于两叶转子头部有大圆弧密封，工作腔与返冷气口相通时，与排气腔是隔离的。这样，工作腔内的气体压力与返冷气均压后基本达到返冷气压力(20000Pa)时，再与排气腔相通，因此排气平缓。而三叶转子由于转子头部没有大圆弧密封头，工作腔同时与返冷气口、排气腔相通，排气腔的高压气体(压力20000Pa)向工腔(压力7000Pa)快速返流，使气流受到冲击与压缩形成脉动，因此排气速率脉动较大。当三叶转子继续动一定角度转过返冷气口的位置时，工作腔才与返冷气口相通并与排气腔隔离。工作腔内气体的压力基达到返冷气口的压力，再与排气腔相通，排气较平缓。

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