INFICON BPG400 B-A型皮拉尼真空计

INFICON BPG400 B-A型皮拉尼真空计 353-502

INFICON B-A型皮拉尼复合真空计, BPG400, 两个真空计复合在一个小型单元中测量范围从 5 x 10-10 毫巴至大气压 (3.8 x 10-10 乇至大气压). 复合技术降低了安装,设置和集成的复杂性. 选 BPG400 用于可及的和可再现的过程, 在一个经济的真空计组件中执行基本的压强测量.

优势：

极宽的测量范围从 5 x 10-10 毫巴至大气压 (3.8 x 10-10 乇至大气压)

过程压强范围从 10-8 … 10-2 毫巴,卓越的再现性 5%

皮拉尼联锁保护 B-A型系统防止灯丝过早烧毁和来自高压强运行的过度污染

长寿命的涂敷氧化钇的铱灯丝

可选图形显示器和现场总线接口

自动高真空皮拉尼调整减少操作人员的干预

RoHS 兼容性

用途：

在半导体过程和传送室中的压强测量

工业镀膜

在低至超高真空范围内的一般真空测量和控制

技术规格

型号灯丝	BPG400 单-涂铱氧化钇灯丝	BPG402-S 双-涂铱氧化钇灯丝	BCG450 涂铱氧化钇灯丝/电容薄膜
测量范围	5 × 10E-10至1000 mabr		5 × 10E-10至1500 mabr
精度（N2） 10E-8至10-2mbar（BPG400/BPG402-S） 10E-8至50mbar（仅BCG450） 50至950 mbar（仅BCG450） 950至1050 mbar（仅BCG450）	±15%读数		±15%读数 ±5%读数 ±2%读数
重复性 10E-8至10-2mbar	±5%读数
除气 P＜7.2 × 10E-6mbar	电子轰击,至多3分钟
输出信号	电压范围：0至+10V模拟；可选RS485，Profibus-DP，DevicenNet
电源电压直流/安培	+20至+28Vdc 0.8A
电气连接件	D-sub 15针；Profibus-DP/RS485（D-sub 9针+15针）；DeviceNet标准接头
工作温度	+0至+50℃
烘烤温度（未工作）法兰处延伸件移除电子部分	80℃ 150℃ 150℃
防护等级	IP30

订货号：

BPG400 B-A型皮拉尼真空计 DN 40 CF-R 353-502