真空泵机组在半导体制造业中有很多种不同的真空泵机组。我们把它们分成两类：初级泵和高级真空泵机组。初级泵有几种用途：在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托)；清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁)；为高级真空泵机组用来获得压力，范围10-3托到10-9托的。
新型晶片厂中使用的现代真空泵机组是干性的，意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。 要先用机械泵将系统抽至低真空，再接通扩散泵冷凝水.然后逐渐加热使油沸腾并正常回流后再启动油扩散泵。关闭油扩散泵时.需先切断加热器电源，待油停止沸腾后再关冷凝水，再关闭扩散泵前后两个活塞，接着将机械泵的抽气日通大气后才能停机械泵.通常在机械泵和油扩散泵之前安一冷阱，以免有机物、水汽等杂质进入机械泵，影响泵的工作性能。冷阱的冷却荆可按需要选用干冰、液氮等。 对玻璃真空系统的检漏，使用高频火花真空检漏仪较方便。它是利用低压强气体在高频电场中，发生感应放电时所产生的不同颜色。
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