位移传感器在工业自动化中发挥了关键作用。它们能够实现非接触式测量、高精度和高分辨率的测量、快速响应和良好的可靠性与稳定性。随着工业自动化技术的不断发展，该传感器的应用前景将更加广阔。

工作原理：
位移传感器通过改变电容来测量物体的位移。当物体发生位移时，电容随之改变，电容传感器将这种变化转化为电信号，送入测量电路进行处理。具体来说，电容传感器由固定电极和活动电极组成，两个电极之间填充了介质，形成一个电容结构。当物体靠近或远离电容传感器时，活动电极的位置也会相应变化，从而改变电容值。

设备性能及主要参数
1、量程：±25µm 到±1000µm满量程测量
2、分辨率：优于2 nm (r.m.s.) @ 1 kHz
3、带宽：1 kHz, 5 kHz, 20 kHz, 100 kHz 可选

位移传感器的特性：
1、非接触式电容式微位移测量—准确的电子感应技术，无损样品测量。
2、优化的近距离测量—测量距离在10微米到5毫米。
3、高准确性，高灵敏性测量，精度可达0.5nm。
4、可探测任何可传导性、接地的测量目标—表面是否抛光以及材质对测量准确度无任何影响，

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