整个水处理系统分为预处理系统+反渗透为主的脱盐系统+精处理系统+(加温后)+后续的精处理工艺，最后得到电子超纯水。整个水处理系统有加热功能，根据不同的用水温度需要调整进水温度。预处理系统由絮凝剂和杀菌剂+全自动多介质过滤器+全自动活性炭过滤器+预处理产水箱+预处理输送泵组成。主要通过添加药剂和机械过滤器来去除掉水中泥沙、悬浮物、胶体、微生物等物质，保证产水的SDI15<
 
5，满足反渗透的进水条件。反渗透为主的脱盐体系主要由一级反渗透系统和二级反渗透系统组成，特别是一级反渗透系统，为最主要的脱盐系统。由热交换器+保安过滤器+一级高压泵+一级反渗透系统+缓冲水罐+二级高压泵+二级反渗透系统+产水水箱组成。由于反渗透系统允许进水含盐量相对较广，且脱盐率高，故能起到主要脱盐的功能，减轻后续工艺处理的脱盐负荷。精处理系统主要由进水泵+一级TOCUV+膜脱气系统+连续电除盐系统(CEDI)组成，主要是进一步去除水中的含盐量，为后续的精处理系统提供稳定的水质保障。后续精处理根据分布不同分两股水，由水罐+泵+二级TOCUV+超纯水抛光混床+换热器+0.1
 μm过滤器组成，之后不同温度的产水作为超纯水使用。

一级反渗透系统单套设计为一级两段：(14∶6)×6，单套120支膜元件，系统设计产水103mm3/h，设计回收率75%，温度为25℃，共5套，膜元件共600支。以反渗透膜系统为主介绍说明该水系统的运行情况。