泽攸SEM/TEM原位分析集成了扫描探针控制单元，可在三维空间内对电学探针与光纤探针进行亚纳米级别精度的操纵。通过电学探针施加电场，通过光纤施加光场，对单个纳米结构进行操控并进行电学性质、光电性质的测量。并可在物性测量的同时，动态、高分辨地对样品的晶体结构、化学组分、元素价态进行综合表征，大大地扩展了扫描电镜的功能与应用领域。

泽攸SEM/TEM原位分析性能指标：

1、电学测量指标：
①包含一个电流电压测试单元；
②电流测量±1.5 A，±100 fA；
③电压输出±200 V，±100 nV；
④自动电流-电压（I-V）测量、电流-时间（I-t）测量，自动保存。

2、扫描探针操作指标：
①粗调范围：XY方向2.5 mm，Z方向1.5 mm；
②细调范围：XY方向18 um，Z方向1.5 um；
③细调分辨率：XY方向0.4 nm，Z方向0.04 nm。

3、光纤指标：
①光纤外径250 um，保证电镜系统真空指标；
②可选光纤探针、平头光纤、光纤透镜；
③可选SMA接头、FC接头。

4、力学传感器指标：
①载荷100 mN（可选0.1 mN、1 mN、10 mN、100 mN）；
②力测量实测噪声优于5nN（0.1 mN大载荷时）；
③力测量实测分辨率优于5 nN（0.1 mN大载荷时）；
④自动测量力-距离曲线，自动保存。

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