高精度高低温真空探针台

高精度高低温真空探针台产品用途：探针台主要应用于传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试，广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。

该探针台的承载台为60＊60不锈钢台面，台面最高可升温到最高400℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为x/y/z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节，其中x方向调节范围：0--30mm; y方向调节范围：0—20mm；z方向调节范围：0—20mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需要检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架x/y/z方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。

真空探针台的技术参数：

真空腔体
腔体材质	304不锈钢

加热台材质	304不锈钢
内腔体尺寸	φ160x90mm
观察窗尺寸	Φ70mm
加热台尺寸	φ60mm
观察窗热台间距	75mm
加热台温度	﹣190~400℃
加热台温控误差	±1℃
真空度	机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
允许正压	≤0.1MPa
真空抽气口	KF25真空法兰
气体进气口	3mm-6mm卡套接头
电信号接头	SMA转BNC X 4
电学性能	绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V
探针数量	4探针
探针材质	钨针
探针尖	10μm
探针移动平台
X轴移动行程	30mm ±15mm
X轴控制精度	≤0.01mm
Y轴移动行程	13mm ±12.5mm
Y轴控制精度	≤0.01mm
Z轴移动行程	13mm ±12.5mm
Z轴控制精度	≤0.01mm
电子显微镜
显微镜类别	物镜
物镜倍数	0.7-4.5倍
工作间距	90mm
相机	sony 高清
像素	1920※1080像素
图像接口	VGA
LED可调光源	有
显示屏	8寸
放大倍数	19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm