电动显微镜

徕卡全自动3D显微镜DM6M为用户提供了多种解决方案，其中凸出的一点就是帮助用户简化显微镜的操作，使显微镜使用简单，准确，得心应手。智能化的设计帮助您以简单的操作完成复杂的调节程序，实现多种多样的研究及诊断。

电动显微镜DM6M是数字化系统显微镜，光学设计上采用HC无限远轴向、径向双重色差校正光学技术，消除杂散光等干扰因素；在整个光学系统内，对涉及成像质量的所有组件(物镜、镜筒透镜、目镜筒、目镜、照相接口等)进行优化组合，实现图像分辨率和反差的优化，得到锐利图像的同时追求高分辨率。

电动显微镜应用领域：微电子及非金属材料领域可满足半导体材料/器件、金属样品、陶瓷样品表面观察、测量、3D形貌观察等功能。

可解决材料及微电子器件毫米至微米尺度微观三维结构观察，测量等功能；

可对样品进行高清成像、形貌、轮廓、坐标、厚度、粗糙度、表面纹理、色彩分析等；

可解决如下方面研究中的形貌测量问题：

1、MEMS

微米和纳米米级部件的尺寸测量，各种工艺（显影、刻蚀、金属化、CVD、PVD、CMP等）后表面形貌观察，缺陷分析，透光膜厚测量。

2、半导体/LCD

各种工艺（显影、刻蚀、金属化、CVD、PVD、CMP等）后表面形貌观察，缺陷分析非接触型的线宽，台阶深度等测量，及GOLDBUMP的高度与表面粗糙度。

3、精密机械部件，电子器件

毫米、微米和纳米级部件的尺寸测量，各种表面处理、焊接工艺后的表面形貌观察，缺陷分析，颗粒分析。

4、摩擦学，腐蚀等表面工程。

磨痕的体积测量，粗糙度测量，表面形貌，腐蚀以及表面工程后的表面形貌。

5、材料科学

新材料研发，缺陷、失效分析;多孔材料、金相分析等。

6、高精密PCB制造。

1.钻孔后的孔径测量(纳米到微米),底部粗糙度,形貌观察。

2.铜线高度,线宽。

3.基板表面粗糙度，三维形貌。

使用LeicaDM6M进行全自动材料分析，具体特点如下：

1、完整记忆所有设置

您可轻松调用之前的显微镜设置并通过软件独特的“保存和调用"功能"(StoreandRecall)即时复制成像参数，且适用于任何类型的样本。

一键式“智能自动化"可让您轻松搞定重复性工作。这些具有记忆功能的显微镜可帮您减少培训时间、改进工作流程和获得出色的成像结果—始终如一。                      

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