低温等离子废气处理设备是超等团队根据废气治理的需求研发并制造的新一代废气处理产品，防爆型产品于2015年3月获得高级防爆合格证。本产品主要应用于高湿度、高爆炸危险性废气的治理。所谓低温等离子是继固体、气体、液体三态后，列为物质的第四态，由正离子、负离子、电子和中性粒子组成，因体系中正负电荷总数相等，故称为“等离子体”。

。低温等离子废气处理设备低温等离子体的电离率较低，电子温度远高于离子温度，离子温度甚至可与室温相当。所以低温等离子体低温等离子废气处理设备是非热平衡等离子体，低温等离子体中存在着大量的、种类繁多的活性粒子，比通常的化学反映所产生的活性粒子种类更多、活性更强，更易于和所接触的材料表面发生反映，因此它们被用来对材料表面进行改性处理。