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FX系列PLC型号的含义
在PLC的正面，一般都有表示该PLC型号的符号，通过阅读该符号即可以获得该PLC的基本信息。FX系列PLC的型号命名基本格式如下：

序列号：0、0S、0N、2、2C、1S、2N、2NC。
I/O总点数：10～256。
单元类型：M—基本单元；
E—输入输出混合扩展单元及扩展模块;
EX－输入专用扩展模块；
EY－输出专用扩展模块。
输出形式：R－继电器输出；
T－晶体管输出；
S－晶闸管输出。
特殊品种区别：Ｄ－DC电源，DC输入；
A1－AC电源，AC输入；
Ｈ－大电流输出扩展模块（1A/1点）；
Ｖ—立式端子排的扩展模块；
Ｃ—接插口输入输出方式；
Ｆ－输入滤波器1ms的扩展模块；
Ｌ－TTL输入扩展模块；
Ｓ－独立端子（无公共端）扩展模块。
若特殊品种一项无符号，说明通指AC电源、DC输入、横排端子排；继电器输出：2A/点；晶体管输出：0.5A/点；晶闸管输出：0.3A/点。
例如：FX2N-48MRD含义为FX2N系列，输入输出总点数为48点，继电器输出，DC电源，DC输入的基本单元。又如FX-4EYSH的含义为FX系列，输入点数为0点，输出4点，晶闸管输出，大电流输出扩展模块。
FX还有一些特殊的功能模块，如模拟量输入输出模块、通信接口模块及外围设备等，使用时可以参照FX系列PLC产品手册。

MKS INSTRUMENTS HPQ2 

713-025164-002 B TeflonRing 

LAM RESEARCH 716-040737-428  R, CPLG, QTZ, BIAS PU, W/O FL 

APPLIED MATERIALS 4020-01060, Filter, inline Gas 3000 PSI G9/ 19-M 

MKS UHV-40-ACC-EWVN,E52951 8P53 SRPL, Ventil + Heizung + Magnetventil

LAM RESEARCH 716-040737-428  R, CPLG, QTZ, BIAS PU, W/O FL 

APPLIED MATERIALS 0040-34926

MKS 179BX23CS3BMS130, Mass-Flo 

APPLIED MATERIALS 0040-34926

Aera Massendurchflussregler  F2, 70SLM, FC-PA7820C 

LAM RESEARCH 716-040737-428  R, CPLG, QTZ, BIAS PU 

APPLIED MATERIALS 0190-00959  BRG,SIN Ball,4PTCONT 

TMD 8104 7678 , ZnO/AL2O3 

Anelva MG-2 MiniaturGauge

CELERITY UFC-8565  Massendurchflussregler 

ALFA LAVAL, AMBD2E100F + 5ENA0 

AXCELIS H1403380  tube gas feed 

AERA FC-7810CD  Massendurchflussmesser

ALFA LAVAL, AKGD2E100F + 5EHA0 

ALFA LAVAL, AKGD2E100F + 5ELA0 

ALFA LAVAL, AKGD2E100F + 5ENA0 

BTU INTERNATIonAL 5191848, FEC T9-26-12-KA1-7-3.7

BTU INTERNATIonAL 5191850, FEC BL/C/R-8-24-8/11-KA1-7

ENTEGRIS A2ST20M01,IMPACT 2 V2 Filter 

Aera Massendurchflussregler  SiH4, FC-PA7800C

Aera Massendurchflussregler  AR, 100000SCCM, TC FC-PA7820C

CELERITY IFC-125C , SC24, Massendurchflussregler 

APPLIED MATERIALS 0020-5202 

CELERITY IFC-125 C  SC24, Massendurchflussregler

ENTEGRIS 302549-001,202-71-01, 1/4'' 

RIGAKU 4259C205, Hochspannungskabel 

TEL 90136218, 1105-302153-91 , B04-0462A, HK542-73, VT-base 

APPLIED MATERIALS 0020-5202 

MKS 1579A 00432LR14VSPC 

MKS 1579A 00432LR14V

MKS 1579A 00432LR14VSPC1 









TEL 90136218, 1105-302153-91  B04-0462A, HK542-73, VT-base 

BTU INTERNATIonAL 5191849, FEC T12-26-11-KA1-7-3.3, Heizgert 

BTU INTERNATIonAL 5191849, FEC T12-26-11-KA1-7-3.3, Heater 

BTU INTERNATIonAL 5191849, FEC T12-26-11-KA1-7-3.3, Heater 

Riken Keiki RKI GD-70D Intelligent 

APPLIED MATERIALS 0020-5202 Baffle, secondary conf.

MKS 631A11MDEH, Type631 Baratron 

APPLIED MATERIALS 0020-5202 Baffle, secondary conf.

BTU INTERNATIonAL 11040951, FEC BL/C/R-11-24-18/11-A1

Inficon VAH016-A, 253-200, Manuelles Eckventil 

APPLIED MATERIALS 0015-76163, Federverbinder 

MKS 902-1112, Series902 Piezo 

CELERITY IFC-125C  SC23, Massendurchflussregler

APPLIED MATERIALS 0015-76163, spring link 

ENTEGRIS 201-41-01,1/2'' 

ENTEGRIS 302548-015,1/2'' 

APPLIED MATERIALS 0021-07949

ENTEGRIS 201-42-01,1/2'' 

Riken Keiki RKI GD-F77A 

MKS 628BX12MBE1B, Type 628 Baratron 

LAM RESEARCH 716-801667-003M 

RIGAKU 4259C303, Hochspannungskabel

APPLIED MATERIALS 0040-87102, manifold out left