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真空等离子清洗机 全自动表面等离子清洗机 电路板等离子清洗机
更新时间:2019-04-13 09:44 免费会员
广东秦泰盛智能化科技有限公司
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(1)等离子清洗的作用

等离子清洗的作用原理主要是

A:对材料表面的刻蚀作用-物理作用

等离子体中的大量离子、激收态分子、自由基等多种活性粒子,作用到固体样品表面,不但清除了表面原有的污染物和杂质,而不会产生刻蚀作用,将样品表面变粗糙,形成许多微细坑洼,增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。

 

B:激活键能,交联作用

等离子体中的粒子能量在0-20eV,而聚合物中大部分的键能在0-10eV,因此等离子体作用到固固体表面后,可以将固体表面的原有的化学键产生断裂,等离子体中的自由基与这些键形成网状的交联结构,大大地激活了表面活性。

C:形成新的官能团--化学作用

如果放电气体中引入反应性气体,那么在活化的材料表面会产生复杂的化学反应,引入新的官能团,如烃基、氨基、羧基等,这些官能团都是活性基团,能明显提高材料表面活性。


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(1)真空等离子清洗的优势

 

等离子清洗作为重要的材料表面改性方法,已经在众多领域广泛使用。

 

不传统的一些清洗方法,如超声清洗、UV清洗等,具有以下优点:

 

A:处理温度低

 

处理温度可以低至80℃、50℃以下,低的处理温度可以确保对样品表面不造成热影响。

 

B:处理全程无污染

 

等离子清洗机本身是很环保的设备,无产生任何污染,处理过程也无产生任何污染。可以与原有生产流水线搭配,实现全自动在线生产,节约人力成本。

 

C:处理效果稳定

 

等离子清洗的处理效果非常均匀稳定,常规样品处理后较长时间内保持效果良好。

 

D:可以处理各种形状的样品

 

对于复杂形状的样品,等离子清洗都能找到合适的解决方案。真空等离子清洗更可实现对固体样品内部位置进行清洗。


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(1)产品原理

 

等离子清洗的机构主要分为三个大的部分组成,分别是控制单元、真空腔体以及真空泵。

 

A:控制单元

 

控制单元主要分为半自动控制、全自动控制、PC电脑控制、液晶触摸屏控制四种方式。而控制单元又分为两个大的部分:1)电源部份:主要电源频率有三种,分别是40KHz、13.56MHz、2.45GHz,其中13.56MHz是需要电源匹配器的,而2.45GHz又称为微波等离子。2)系统控制单元:分三种,按钮控制(半自动、全自动)、电脑控制、PLC控制(液晶触摸屏控制)。

 

B:真空腔体:

 

真空腔体主要是分为三种材质的:1)不锈钢真空控体;2)石英腔体;3)高强度铝合金腔体。

 

C:真空泵:

 

真空泵种类较多,其选择会根据用户的真空度要求、体积要求来配置。


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1.技术规格、基本配置

整机规格:

650x650x1380(长x宽x高)mm

整机重量:

约400kg

铝合金清洗腔体规格:

300x300x350(长x宽x高)mm(厚度更厚,密封性强,寿命更长)

铝合金清洗腔体有效积:

30L

电源:

AC 220V电源 开关带漏电保护器

功率:

≦1KW

射频输出(连续可调):

0-600W,配置真空电容自动匹配器

射频频率:

13.56MHz

清洗时间定时器范围:

0-99.99min

真空泵:

德国技术,双极旋片真空泵,抽速可达60m⊃3;/h

极限真空泵:

≦10Pa 工作真空度≦30Pa

真空度测量及量程:

1.0x105-1.0x10-1Pa进口电子真空计

气体流量计及量程 :

国内领先品牌,量程0-300SCCM

进气阀:

全自动电子挡板阀

玻璃观察窗:

观察清洗舱内辉光状态

常用工作气体:

氧气氩气氮气或混合气体可选

气路:

独特的气路分布结构,确保气体分布均匀

PLC:

德国西门子PLC,全自动程序控制

触摸屏:

威纶通触摸屏,人性化界面,极易操作

全面安全防护:

温度安全防护功能,过载防护功能,短路断路报警防护功能,各种误操作保护功能

电气部件:

全采用施耐德

气压调节部件:

全球领先SMC品牌

电极板:

特殊处理的电板板结构,确保放电均匀,清洗效果

腔体:

军工级的高真空密封腔体

 

2.性能优势

 

A:原装进口电源:采用原装进口高压激励电源电路技术,产生高密度等离子体,确保出众的清洗效果。

 

 

B:全面安全防护:温度安全防护功能,过载防护功能,短路断路报警防护功能,各种误操作保护功能。

 

 

C:独有放电技术:特殊处理及特殊结构的放电装置,确保形成稳定均匀的等离子体。

 

 

 

D:密封性卓越的真空腔体设计:军工级的高真农药度真空腔体设计及制造工艺,配置进口真空泵。

 

 

E:优势产品部件:产品全部部件采用国内外优质部件,确保设备性能优越。

 

 

F:超低真空温度:满足不同场合温度要求,不对清洗产品造成温度影响。

 

 

G:精密数控加工:进口精密CNC数据机床加工工艺,并配备进口三坐标测量仪进行质量监控。

 

 

H:适用形状复杂样品:清洗各种复杂形状的产品,包括内孔内壁,全方位均匀清洗。

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等离子清洗机1

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