光氧净化设备是目前研究较多的一项高级氧化技术。所谓光氧催化反应，就是在光的作用下进行的化学反应。光化学反应需要分子吸收特定波长的电磁辐射，受激产生分子激发态，然后会发生化学反应生成新的物质，或者变成引发热反应的中间化学产物。光化学反应的活化能来源于光子的能量，在太阳能的利用中光电转化以及光化学转化一直是十分活跃的研究领域。

光氧净化设备技术利用光激发氧化将O2、H2O2等氧化剂与光辐射相结合。所用光主要为紫外光，可以用于处理污水多联等难降解物质。另外，在有紫外光的系中，紫外光与铁离子之间存在着协同效应，分解产生自由的速率大大加快，促进有机物的氧化去除。

光氧净化设备系统采用光解方式处理有机废气，没有高温、高压危险，使用安全，操作简单，便于各种行业的使用管理，特别适合防火、安全要求高的场合使用。采用高能紫外线光灯，利用特定波长的紫外线对有机物进行转化，不会出现像活性炭吸附达到饱和而出现效果下降的情况，废气转化效率高、处理效果长期稳定。光解处理区采用光解转化有机废气，反应区内只安装灯具，只是进出两端设置隔离层，气流平稳、缓慢，阻力小，选用系统风机的压力要求低，降低配套设施运行能耗和费用。采用“光照”的方式处理有机废气，在光解反应区内将有机物质直接转化，不另外增加中间介质或过程，不产生二次污染，也不需要另外加入其他能耗，只需要亮灯光照即可，灯具的使用寿命长，所以本设备运行费用低，不产生二次污染，属于清洁、低能耗的高技术环保系统。