有机废气处理中催化焚烧工艺流程有分建式与组合式两种。

在分建式流程中，预热器、换热器、反响器均作为独立设备别离设立，其间用相应的管路衔接，一般使用于处理气量较大的场合。

组合式流程将预热、换热及反响等部分组合安装在同一设备中，即所谓催化焚烧炉，流程紧凑、占地小，一般用于处理气量较小的场合。我国有这类设备的定型产品，可根据处理气量的巨细进行选择。