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对于光氧等离子废气处理设备主要是利用了等离子分解技术和UV紫外光解技术结合，对废气和臭气进行协同净化处理：有机废气和恶臭气体进入集成设备后，经过UV紫外光束区时，被紫外光波率地照射，瞬间产生光解反应；经过等离子体电场时，在纳秒级时间范围内，产生裂变分解反应；如此协同地产生一系光解和分解反应，经过多级净化后从而达标排放。
C波段光氧催化废气治理技术，是一种利用新型的复合纳米高科技功能材料的技术，采用三重祛异味原理。
1、一重净化：采用UV双波段照射废气分子，产生游离电子及电子空穴，生成极强的光氧还原功能，可氧化分解各种有机化合物和部分无机化合物，废气分子吸收了紫外线的能量后，细菌分子的DNA（脱氧糖核酸）与核蛋白之间的断裂，造成核酸与蛋白的交联破坏，达到一重除臭净化作用；
