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考夫曼射频离子源RFCIP220 制备高性能光通信带通滤光膜
2021-06-17 11:16  浏览:53
   光通信的信息载体是光波, 为了进一步提高光通信系统中光信号的传输质量, 满足光通信系统的使用要求, 广东中山某研究机构采用 KRI 考夫曼射频离子源 RFCIP220 制备高性能光通信带通滤光膜.

 

伯东 KRI 射频离子源 RFICP220 技术参数:

portant;">

离子源型号

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RFICP220

portant;">

Discharge

portant;">

RFICP 射频

portant;">

离子束流

portant;">

>800 mA

portant;">

离子动能

portant;">

100-1200 V

portant;">

栅极直径

portant;">

20 cm Φ

portant;">

离子束

portant;">

聚焦,  平行,  散射

portant;">

流量

portant;">

10-40 sccm

portant;">

通气

portant;">

Ar,  Kr,  Xe,  O2,  N2,  H2,  其他

portant;">

典型压力

portant;">

< 0.5m Torr

portant;">

长度

portant;">

30 cm

portant;">

直径

portant;">

41 cm

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中和器

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LFN 2000

* 可选: 灯丝中和器; 可变长度的增量

KRI 射频离子源 RFICP 220

 

在该研究项目中, 以 Ta2O5 和 SiO2 作为镀膜材料, 设计了含有 12 个谐振腔的带通滤光膜, 分析并解决了耦合层膜厚监控的问题.

 

运行结果:

制备的带通滤光膜在 1528~1571 nm 处插入损耗小于 0.2 dB, 1470~1521 nm 和 1578~1651 nm 处透射隔离度大于 40 dB, 满足实际使用要求.

 

伯东是德国 Pfeiffer 真空泵,  检漏仪,  质谱仪,  真空计,  美国 KRI 考夫曼离子源,  美国HVA 真空阀门,  美国 inTEST 高低温冲击测试机,  美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商.

 

若您需要进一步的了解详细信息或讨论,  请参考以下联络方式:

上海伯东: 罗先生                               台湾伯东: 王女士
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
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