型号：VGT-1018S

产品特点：

1，腐蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性；

2，工艺参数（温度，时间，DIW水清洗模式、时间可调）手动由触摸屏界面可

设定；

3，机台前方为清洗工作区域，机台后上方为电器和气路布置区域，后下方为液

路布置区域。

4，药液供给及补液方式: 分体式CDS自动供液系统

5，DI槽配有在线式水质检测装置；

6，配有分体式废液回收系统；

7，配备自动灭火系统；

8，环保型自动、智能清洗系统

应用范围：

用于锗片镀膜前处理的清洗，也可以用于其他晶片的清洗腐蚀；

工艺说明：手动方式实现放件，取件，槽体间传送件；

设备形式：室内放置型；

设备结构：一体式、中央集成型

技术参数:

超声波功率：900w

超声波频率：28khz/48khz

换能器数量：18个

电源电压:三相五线380V