产品类型：VGT-6048F

清洗方法：

十全十美的事物不在话下；百分之百的机会也不在一时之间；而是勇于抓取其中之一的机会，哪怕是0.99％的机遇。所以，硅片超声波清洗机主要抓取了本身仅存在的优势：“物理清洗和化学清洗”。

物理清洗分为三种：

①刷洗或擦洗:可除去颗粒污染和大多数粘在片子上的薄膜。

②高压清洗：是用液体喷射片子表面，喷嘴的压力高达几百个大气压。高压清洗靠喷射作用，片子不易产生划痕和损伤。但高压喷射会产生静电作用，靠调节喷嘴到片子的距离、角度或加入防静电剂加以避免。

③超声波清洗：超声波声能传入溶液,靠气蚀作用洗掉片子上的污染。但是,从有图形的片子上除去小于 1微米颗粒则比较困难。将频率提高到超高频频段，清洗效果更好。

化学清洗：是为了除去原子、离子不可见的污染,方法较多,有溶剂萃取、酸洗（硫酸、硝酸、王水、各种混合酸等）和等离子体法等。其中双氧水体系清洗方法效果好，环境污染小。一般方法是将硅片先用成分比为H2SO4:H2O2=5:1或4:1的酸性液清洗。清洗液的强氧化性,将有机物分解而除去；用超纯水冲洗后,再用成分比为H2O:H2O2:NH4OH=5:2:1或5:1:1或7:2:1的碱性清洗液清洗,由于H2O2的氧化作用和NH4OH的络合作用，许多金属离子形成稳定的可溶性络合物而溶于水；然后使用成分比为H2O:H2O2:HCL=7:2:1或5:2:1的酸性清洗液，由于H2O2的氧化作用和盐酸的溶解，以及氯离子的络合性，许多金属生成溶于水的络离子，从而达到清洗的目的。

适用范围：

威固特硅片超声波清洗机主要适用于硅片、精密元器件、电子真空器件等等。

技术参数：

超声波功率：2400W

超声波频率：28,40,60KHZ

换能器数量：48PCS

电源电压：单相22VAC，三相380VAC