低温等离子净化技术设备处理多组分异味、恶臭气体时，等离子体中的高能离子起决定性的作用。流星雨状的高能等离子与介质发生非弹性碰撞，将能量转化成基态介质的内能，发生激发、离解、电离等一系列过程是污染介质处于活化状态。污染介质在等离子体的作用下，产生活性自由基，活化后的污染分子经过等离子体定向链化学反应后被脱离。当低温等离子除臭设备平均能量超过污染介质中化学链结合能时，分子链段裂，污染介质分解，并在等离子发生器吸附场的作用下被收集。在低温等离子体中，可能由污染介质成分决定发生的各类化学反应，这主要取决于等离子的平均能量、离子密度、气体温度、污染物介质浓度及共存的介质成分。

低温等离子废气处理设备能有效去除挥发性有机物（VOC）、无机物、硫化氢、氨气、硫醇类等主要污染物，以及各种恶臭味，对于长期弥漫、积累的恶臭、异味，24小时内即可祛除，并且具有强力杀灭空气中细菌、病毒等各种微生物能力，而且具有明显的防霉作用。