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品牌:固勤材料
抗弯强度:280MPa
硬度:13
使用温度:1380℃
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悬臂桨是光伏电池片装载系统的关键部件。

SiC悬臂桨是半导体晶圆装载系统的关键部件。目前半导体用带CVD涂层的桨完全依赖进口。

我国到目前为止，高端半导体用碳化硅陶瓷依旧只能以进口为主，主要进口来源国为美国、日本。价格居高不下，交货期基本在24个月之上，严重制约我国半导体行业的发展。同时，由于贸易摩擦，此类产品已经在国防军工相关领域被禁用，国产替代势在必行。固勤研制的桨、舟及炉管           已初步满足试产条件，正与中国电子科技集团展开合作，积极寻求进口替代。