根据国际标准ISO6145研制的热式质量流量控制器法的气体稀释装置，稀释范围从（2-100）倍，流量输出（1-5）L/min，通常两元稀释模式，装置中采用进口热式流量控制器，并经高精度流量计校准，流量偏差可控制在0.5%以内，重复性小于0.2%，线性拟合系数R2>0.9999，稀释装置精度小于1%。

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