（1）激光首先激发的是固体的电子，在100 fs内电子吸收光子的能量而跃迁到高能级；

（2）由于电子相对于晶格的温度更高，因此其处于非平衡态。为了达到平衡，电子会在1ps内将能量传递给晶格；

（3）在10ps时间内，这些能量将被逐步传递到材料内部。

因此，对于10 ps左右的皮秒激光加工，材料有足够的时间把热量传递到其内部，然后才发生刻蚀作用，因此热效应实际上无法避免。而对于飞秒激光，脉冲作用时间已经小于1ps，电子没有足够的时间将能量传递给晶格。从而在材料表面生成众多等离子体，能量伴随着材料的去除而消散，因此出现强烈的刻蚀效果。也就是说，当激光脉宽远远小于晶格的受热时间时，烧蚀时间不依赖于激光脉宽。图1为长脉冲激光与飞秒激光对比。