另外，脉冲宽度越窄，谱宽就会越大。因此，色差也会影响加工效果。

其次是波长的影响，对于一般材料而言，波长对刻蚀效果影响不大，只有在对透明材料（如SiO2）进行加工的时候才考虑，而且应该考虑波长的问题。如前面所说，透明材料对紫外光有强烈的吸收，而对于可见和红外光的透过率却很高。因此通常将超快激光的三倍频光用于加工。对于几十飞秒的激光器而言，光谱宽度达到20 nm，甚至是50 nm，因此三倍频效率非常低。而皮秒激光器却能获得较高的三倍频率输出。

频率则会影响加工速度。一般来说是越高越好，但是通常只有振荡器才是80 MHz左右，而振荡器的单脉冲能量太低，因此需要放大，放大器的频率一般从1 kHz到几百千赫兹不等。