蒸馏方法的一种。在减压下进行，一般用于分离在常压下加热至沸点时易于分解的物质，或与其它蒸馏方法（如蒸汽蒸馏）结合以降低蒸馏温度并提高分离效率。用于化学，有机，金属化合物，金属醇盐等的分离提纯。真空蒸馏也用于某些品种特种气体的深度提纯。

一些化合物具有很高的沸点。要使这类化合物沸腾，最好是降低化合物沸腾时的压力而不是提高温度。一但压力降低到化合物的蒸汽压（在一定的温度下），化合物就开始沸腾，蒸馏作用就可进行。这项技术被称为真空蒸馏，且以真空汽化器的形式常见于实验室。这项技术对于大气压下沸点超过其分解温度的化合物是很有用的，在大气压下让这类化合物沸腾的尝试，都会使其分解