等离子光氧一体机有足够的能量来产生自由基，引发一系列复杂的物理、化学反应。由低温等离子体引起的气体有机物化学反应是在气相中进行的电离、离解、激发、原子分子间的相互结合及加成反应。这个能量足以使大多数气态有机物中的化学链发生断裂，从而使其降解。

由于大气受污染而酸化，导致了生态环境的破坏，重大灾难频繁的发生，给人类造成了巨大损失。因此选择一种经济、可行性强的处理方式势在必行。降解挥发性有机污染物传统的处理方式如吸收、吸附、冷凝和燃烧等，对于低浓度的VOCs很难实现，而光催化降解VCOs又存在催化剂容易失活的问题，利用低温等离子体处理VCOs可以不受上述条件的限制，具有潜在的优势。