平垫铁常用普通碳素钢板切割加工而成，也可用铸铁，用于重型精密设备的平垫铁上下表面需刨削加工。斜垫铁通常也用普通碳素钢板切割加工而成，斜面和底面需刨削加工，斜度为1/25~1/10.设备安装中通常采用一块平垫铁和一组斜垫铁组成一个垫铁组，每组垫铁的数量不宜多余5块，设备找正调平后，每块垫铁均应压紧，垫铁之间，垫铁与设备底座面之间接触良好，除铸铁垫铁外，垫铁应用定位焊焊牢。

设置垫铁有研磨法和坐浆法两种方法。研磨法将垫铁直接设置在基础上，先将设置垫铁的地方凿平、研磨，垫铁设置应平稳，接触均匀，精密设备水平度不应大于0.1/1000.