UV光氧催化废气净化器利用的高能高臭氧UV紫外线光束照射、裂解废气，通过特定波长的UV激发光源产生不同能量的光量子；使有机或无机高分子废气化合物分子链，在高能紫外线光束照射下，在大量携能光量子的轰击下使废气物质分子解离和激发，降解转变成低分子化合物，如CO2、H2O等。利用高能UV光束裂解恶臭气体中细菌的分子键，破坏细菌的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应，达到脱臭及杀灭细菌的目的。

UV光氧催化废气净化器利用高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧),众所周知臭氧对有机物具有极强的氧化作用，对恶臭气体及其它刺激性异味有立竿见影的效果。