采用uv光氧除尘器工艺对单一的有机废气物质或恶臭气体物质严格控制进气浓度、气量及其他条件时，uv光氧除尘器功率充足的情况下，测得uv光氧除尘器效率均可达到99%以上。但实际运用过程中，由于受到各种因素或者条件的影响，如废气成分复杂，废气浓度不稳定或者不能达到uv光氧除尘器最适中的范围（浓度过高或过低均会影响其净化去除率），风量、气压、温度、湿度等环境条件不稳定或者达不到uv光氧除尘器的要求，废气预处理做的不够理想，后续排放管道没有留够充足的氧化反应管道等等，导致uv光氧除尘器的净化效率参差不齐，差异很大，甚至在满足所有外在条件的基础上，处理不同成分的废气其净化效率也有差别。所以很难单纯的去界定一套uv光氧除尘器设备对废气的净化去除率，我们只能说尽量的去调整影响uv光氧除尘器设备净化率的各种因素，尽量的去提高uv光氧除尘器工艺的净化效率。在各种因素都比较适宜的条件下，uv光氧除尘器系统在实际运用中是可以达到90%以上的，甚至某些成分的废气其净化效率可以达到95%以上甚至更高。