因为低温等离子体在处理聚合物表面发生的交联、化学改性、刻蚀主要是因为等离子体使聚合物表层分子发生断键生成大量的自由基。实验说明，随着等离子处理时间的延长、放电功率增大,生成的自由基强度增加，达到最大点后进入一种动态平衡;放电压力在某一定值时,自由基强度出现最大值，即在特定条件下低温等离子体对聚合物表面反应的程度最深。

低温等离子废气处理设备是一种高效净化、无需添加任何物质、适应性强、低耗节能、安全可靠的废气处理设备，低温等离子废气处理设备利用电子、各种离子、原子和自由基等活性等离子体和废气中的污染物作用，使废气分解得到净化。