光学等离子体真空计

OPG550光学等离子体真空计

INFICON Augent™光学等离子体真空计是一种紧凑型智能真空监测解决方案。体积小巧的Augent™集两种传感器技术于一身。进行气体类型监测时，压力测量范围为1 × 10^-7至5毫巴；总压力测量范围可达1 × 10^-7毫巴至大气压。Augent™自带具有保护作用的皮拉尼传感器，当压力超出20巴时可以关闭等离子体。

在1 × 10^-7至5毫巴的测量范围内，该仪表可用于检测氧气、氮气、氢气或氩气等气体。

优势

• 高速检漏，可进行试验箱泄漏检查

• 提高生产率和产量

• 使用寿命长，灯丝不易烧毁，防空气侵入

• 耐过程化学腐蚀

• 采用智能算法，易于集成

• 结构紧凑，空间占用小

• 启动快速可靠

应用范围

• 试验箱泄漏检查，提供更快的RoR (上升速率)试验速度

• 进行泄漏检查，以查找供气管路的内部泄漏

• 实时端点控制

• 气体类型和浓度控制