催化燃烧是一种类似热氧化的方式来处理VOC 的, 它净化有机物是用铂、钯等贵金属催化剂及过渡金属氧化物催化剂来代替火焰, 操作温度较热氧化低一半, 通常为250 ～500 。由于温度降低, 允许使用标准材料来代替昂贵的特殊材料, 大大地降低设备费用和操作费用。与热氧化相似, 系统仍可分为间壁式和蓄热式两类热量回收方式。
间壁式催化燃烧是在催化床后设一个换热器,该换热器在降低排放气温度的同时, 也预热含VOC 的有机废气, 其热回收达60%～75%。该类氧化器早已用于工业过程。
再生催化燃烧( rco )是，新的催化技术。它具有RTO回收能量的特点，具有低温操作和催化反应能量效率高的优点。催化剂放置在蓄热材料的顶部以优化净化。其热回收率高达95.8 co系统性能的关键是使用浸渍在鞍形或蜂窝陶瓷，上的特殊催化剂，贵金属或过渡金属催化剂，使氧化在RTO系统温度，的一半下发生，这不仅降低了燃料消耗，而且降低了设备成本。